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深國安SGA-501NOX氮氧化物檢測儀專為半導(dǎo)體光刻、蝕刻、薄膜沉積等工藝的廢氣管控設(shè)計，是兼顧人員安全、工藝合規(guī)與環(huán)保達標三重需求的核心監(jiān)測裝備。設(shè)備以≤±3% F.S. 的高精度檢測能力為核心，融合多氣體同步監(jiān)測與無線云端管理功能，精準破解半導(dǎo)體廢氣低濃度、高干擾的監(jiān)測痛點。

SGA-501NOX氮氧化物檢測儀采用進口傳感技術(shù)，針對性捕捉 NO、NO?等氮氧化物組分，檢測下限低至 0.01ppm，完全滿足半導(dǎo)體行業(yè) NOX≤0.01ppm 的嚴苛監(jiān)測標準。支持 1-6種氣體自定義組合檢測，可靈活搭配半導(dǎo)體工藝常見的氨氣、磷化氫、硫化氫等有毒氣體及 VOCs 監(jiān)測模塊，實現(xiàn) “一儀多能”，適配潔凈車間、特氣管道、廢氣處理端等多場景監(jiān)測需求。

SGA-501NOX氮氧化物檢測儀設(shè)備搭載 4G/NB-IoT無線傳輸模塊，檢測數(shù)據(jù)實時同步至云端管理平臺，支持電腦、手機 APP 遠程查看濃度曲線、報警記錄與設(shè)備狀態(tài)，無需現(xiàn)場值守即可實現(xiàn)全流程監(jiān)控。配備 3.5 寸高清彩屏，直觀顯示多組分濃度數(shù)據(jù)，內(nèi)置聲光振動三重報警功能，可自定義兩級報警閾值，超標時即時觸發(fā)預(yù)警并聯(lián)動排風(fēng)、切斷閥系統(tǒng)，從源頭阻斷風(fēng)險。

SGA-501NOX氮氧化物檢測儀機身采用 316L 不銹鋼材質(zhì)設(shè)計，防護等級達IP67，防爆等級CT6，耐受- 40℃-70℃寬溫與高濕環(huán)境，適配半導(dǎo)體工藝腔室周邊的嚴苛工況。支持 4-20mA/RS485 信號對接 MES 系統(tǒng)，數(shù)據(jù)自動存儲10萬條，滿足環(huán)保合規(guī)審計要求，是半導(dǎo)體企業(yè)實現(xiàn)廢氣精細化管控的可靠選擇。